我國工業(yè)氣體行業(yè)發(fā)展亟待突破高端特氣瓶頸
發(fā)布時(shí)間:2023-07-27
盡管在鋼瓶氣等傳統及中低端產(chǎn)品方面,我國已經(jīng)形成了規模優(yōu)勢,但在高端氣體尤其是特氣方面,我國的差距還是比較明顯?!疤貧馐切屡d門(mén)類(lèi),在特定領(lǐng)域應用。目前外資在產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)業(yè)規模上均具有較大優(yōu)勢,國內還有很多特氣不能生產(chǎn),很多產(chǎn)品還處于進(jìn)口替代過(guò)程中?!蹦壳叭珖墓I(yè)氣體中特氣占比15%,特氣中一半是電子特氣。
電子氣體作為極大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的基礎和支撐性材料之一,被廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝,沒(méi)有這些基本原材料,其下游的IC、LCD/LED、光伏太陽(yáng)能產(chǎn)品就無(wú)法制造。據業(yè)內不完全統計,2016年我國晶圓制造電子材料市場(chǎng)總額達343.03億元,較2015年增長(cháng)6.9%,預計2017年將達359.36億元。未來(lái)中國基于廣大的市場(chǎng)消費群體,預計仍將保持增長(cháng)態(tài)勢。
經(jīng)過(guò)近10年發(fā)展,國內電子氣體行業(yè)涌現了一批生產(chǎn)質(zhì)量穩定,能夠被半導體客戶(hù)接受的電子氣體生產(chǎn)企業(yè)。從2012年至2016年,國內電子氣體企業(yè)生產(chǎn)銷(xiāo)售額占中國晶圓制造電子氣市場(chǎng)需求由3.8%增加至25.0%,預計2017年將增加至28.4%。國內電子氣體市場(chǎng)接近全球的1/3,而且比例還在不斷提高,但國內自給率卻非常低,近八成產(chǎn)品依賴(lài)進(jìn)口。
“有些電子氣體國內并不是完全不能生產(chǎn),但在技術(shù)精益性上與國際先進(jìn)水平有差別。譬如氯化氫,國內企業(yè)也可以做到水分含量只有0.1ppm,但難以確保質(zhì)量恒定在高水平?!?/p>
據了解,國家對電子氣體的發(fā)展一直比較重視,僅去年就出臺了多項鼓勵政策。譬如科技部印發(fā)的《“十三五”先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域科技創(chuàng )新專(zhuān)項規劃》提到要重點(diǎn)研發(fā)超高純電子氣體;發(fā)改委印發(fā)的《增強制造業(yè)核心競爭力3年行動(dòng)計劃(2018~2020年)》提到了高純氯氣、氯化氫、等系列電子特氣?!拔覀儜プr(shí)機,通過(guò)自主創(chuàng )新,增加產(chǎn)品種類(lèi),提高國產(chǎn)化率,爭取早日解決缺‘氣’的瓶頸和制約?!?/p>
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